牛津儀器全自動(dòng)鍍層熒光光譜儀
品牌:牛津儀器 型號(hào):MAXXI5 產(chǎn)地:英國
一、牛津儀器全自動(dòng)鍍層熒光光譜儀功能
- 采用X射線熒光光譜法無損測量金屬鍍層、覆蓋層厚度,測量方法滿足GB/T 16921-2005標(biāo)準(zhǔn)(等同ISO3497:2000、 ASTM B568和DIN50987)。
- 鍍層元素范圍:鈦~鈾,包含常見的金、鎳、銅、銀、錫、鋅、鉻、鈀等。
- 鍍層層數(shù):多至4層。
- 測量點(diǎn)尺寸:0.06mm x 0.06mm、0.05mm x 0.15mm、φ0.1mm、φ0.2mm圓形或矩形
- 測量時(shí)間:通常30秒。
- 樣品zui大尺寸:600mm(W) x 500mm(D) x 170mm(H)
- 測量誤差:通常小于5%,視樣品鍍層厚度及測試點(diǎn)大小等具體情況而定。
- 可測厚度范圍:通常0.01微米到幾十微米,視樣品組成密度和鍍層結(jié)構(gòu)而定。
二、特點(diǎn)和數(shù)據(jù)
- 采用基本參數(shù)法校準(zhǔn),可在無薄膜標(biāo)樣情況下生成校準(zhǔn)曲線以完成測量。
- X射線采用從上至下的照射方式,即使是表面高低不一的樣品也可以正確測量。反之,如果是從下至上的照射方式,遇到表面凹凸的樣品,無法調(diào)整Z軸距離,導(dǎo)致測量光程的變化,引起測量的誤差。例如(舉例不同距離導(dǎo)致的誤差數(shù)據(jù))。
- 開放的校準(zhǔn)模式,用戶可自行建立校準(zhǔn)曲線不受儀器廠家限制。
- 提供符合NIST美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)協(xié)會(huì)要求,A2LA美國實(shí)驗(yàn)室協(xié)會(huì)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品,可驗(yàn)證測量結(jié)果并讓實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)具有可追溯性。
- Windows 7操作系統(tǒng),數(shù)據(jù)可存儲(chǔ),轉(zhuǎn)移,并可一鍵生成包含測量數(shù)據(jù)、統(tǒng)計(jì)值、樣品圖片和趨勢(shì)圖等要素的報(bào)告(word格式)
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